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从轧钢厂回来,于海棠还闷闷不乐,何雨柱也差不多,这次回去感慨良多。
“行了,别悲秋伤感了,我要去一趟实验室,你要去哪,我送你过去。”
“我回家……”于海棠歪着头,靠在后座椅上,看着窗外。
何雨柱叹了一口气,“去西直门……”
司机点头,踩油门走了。
把善感的于海棠送回去,何雨柱直接去了海淀实验室,也就是生产基地内,这里面积一点不比轧钢厂小。
大型工业园区差不多,三十多亩地,两次扩建。
开车来到无尘车间,找到了正在搞研发的倪光南。
他旁边十几个博士生助手记录光刻机数据。
何雨柱套了一身防护服,过去凑了凑,只见光刻机光源束照进投影物镜,下方和晶圆之间充满了水,光源通过水媒介,按线路图在晶片上光刻着。
何雨柱瞅半天,也瞅不出个所以然来。
等了会,见光刻机停下,倪光南拿着芯片,失望的摇了摇头,何雨柱连忙说道“倪院士,忙着呢。”
倪光南对他点了点头,又叹了口气:“唉,还是不行,浸没式这套理论没错,可这差在哪了。”
摇摇头,又瞅着这台光刻机沉思了起来。
这台光刻机就是他们自主研发的193纳米光刻机,名字叫t1。
而想要研发下一代,大家当时都没什么思路,因为国外现在也卡在这里十多年了,都毫无进展。
只有脚盆的佳能跟尼康通过拉短光源,强行从193纳米缩短到157纳米。
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