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张本松这种老一辈工程师绝不只是喊喊口号那么简单,在会上,张本松就安排人手从头到尾重新仔细推敲一遍,把预案做的详细到不能再详细了才让大家进洁净室实操。
为了确保每一步都正确,张本松严格监控每一步,尤其在烘焙这种容易出问题的关键步骤上,张本松甚至都直接把手伸进烤箱里测温。
这给其他人都吓了一大跳,虽说由于光刻胶不耐高温,但烤箱里也有七八十摄氏度的高温,这个温度同样是能造成烫伤的。
不过最终张本松的冒险是值得的,当他把手伸进烤箱后还真让他找到了问题关键。
“我们需要通风除湿降温!”
张本松说他们这款烤箱的通风孔并没有打开,因此大量的水蒸气堆积导致光刻胶很难干燥定型,此外水蒸气也会导致烤箱内部的温度异常升高,要解决这个问题必须打开通风孔,像涂光刻胶时那样时刻通风。
而经过通风处理,果然烘焙效果立马上升了一个档次,最直接的结果就是张本松伸手进烤箱的那片硅晶圆,最终成功刻蚀出二十枚芯片。
或许对比一块硅晶圆千枚以上的总数,二十枚这个数字着实太少了点,听起来就跟运气好才做出来的一样。
不过只有真正接触这种精密制造的人才明白,芯片制造根本没有运气这一说,现在这二十枚就是一个0的突破。
郑南听到消息急急忙忙来到车间,又听闻张本松居然伸手进烤箱,更是着急:“张主任你不管有任何想法都可以说出来嘛,怎么能做这么危险的事?你可知道你才是芯片制造的领头人?”
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