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沐阳花了几天时间,把芯片制造的EBL光刻机、蚀刻机、离子注入机和镀膜机等设备图纸输出。
系统图纸已经在沐阳的脑海中,他只需要想象,使用人脑转换仪就能快速呈现在软件当中,几天时间,并不算快,正常照抄图纸的话,以他的画图效率,大概需要四周时间。
同时列出物料清单,让公司采购部门负责采购,尽快摸清楚哪些零部件能买得到,如果买不到,立刻启动自主研发。
如荷蓝ASML作为全球最大的光刻机制造商,占据了世界80%的市场份额。
一台高端的光刻机内部零件高达10万件之多,但是其中的零件也并非出自ASML一家,而是集众于多家高科技厂商。
在这十万件的零部件中,荷蓝和鹰国大概占了32%,漂亮国大概占了27%,得国占了14%,岛国占了27%,总共约五千多个供应商。
光刻机的制造难度,主要是对准系统和紫外光源系统。
沐阳选择的EBL光刻机,算是结构比较简单一款,零部件没有EUV光刻机那么复杂,但同样要求零部件的精度极苛刻。
光刻机的不少零件是定制的,订单量少了,厂商还不乐意接单,但最关键的还是人家不出售给华国企业。
像ASML公司,最近两年的年出货量也就是15台左右,也就是说,像苔积电芯片制造公司,其拥有的光刻机也不会超过一百台。
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