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时刻关注光刻机技术进展的孙健,如今还没有听说台积电的林博士在国际半导体研讨会上提出研发“沉浸式光刻”的设想。
“沉浸式光刻”就是在晶圆光刻胶上方加一层水,水的介质折射率是144,193nm144≈134nm,在不改变光刻机波长情况下,变相扩大了NA,使得193nm波长的能等效出134nm的波长。
前世,林博士拿着这项“沉浸式光刻”方案,跑遍美国、德国、日本等国,游说各家半导体巨头,但都吃了闭门羹。
警告台积电高层,让林博士“不要搅局”。
实力最差的ASML决定赌一把,相比之前在传统干式微影上的投入,押注浸润式技术更有可能以小博大,于是和林博士一拍即合,仅用一年时间,就拼全力造出了第一台样机,并先后夺下IBM和台积电等大客户的订单。
和Canon主推的157nm波长干式光刻机被市场逐渐抛弃,两家公司由盛转衰。
“孙先生,公司和NVIDIA的官司败了,公司需要赔偿4500万美元,但公司一下子拿不出这么多现金,银行也不愿意放款,除了容许NVIDIA收购,公司已经没有其他方法,但公司上下不愿意被NVIDIA收购,我代表公司董事会请求AITC投资5000万美元,公司增发新股,邀请AITC控股3dfx。”
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